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应用于通孔图形高分辨率K的KrF正性光刻胶AZ DX3200P

发布日期：2024/10/27 16:22:25

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应用于通孔图形高分辨率K的KrF正性光刻胶AZ DX3200P
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超高分辨率KrF正型光刻胶，为通孔图形优化,工艺窗口大,适用于half-tone相移光罩,适用于密集线图形

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